Конспект лекций по дисциплине Лучевые и плазменные методы формирования наноструктур интегральной электроники
Светличный А.М., Наумченко А.С.
Московский государственный институт электронной техники (технический университет), 2011, 84 с.Содержание:
Применение фотонных потоков излучения в технологии микро- и наноэлектроники
Рекристаллизация аморфных и поликристаллических кремниевых слоѐв лазерным излучением
Технологические процессы с использованием плазмы при изготовлении изделий микро- и наноэлектроники
Плазменные технологические процессы очистки и травления микро- и наноструктур
Взаимодействие электронов с твѐрдым телом
Тепловое воздействие электронов на твѐрдое тело
Ионно-лучевая обработка в технологии микро- и наноэлектроники
Ионное легирование полупроводников
Применение фотонных потоков излучения в технологии микро- и наноэлектроники
Рекристаллизация аморфных и поликристаллических кремниевых слоѐв лазерным излучением
Технологические процессы с использованием плазмы при изготовлении изделий микро- и наноэлектроники
Плазменные технологические процессы очистки и травления микро- и наноструктур
Взаимодействие электронов с твѐрдым телом
Тепловое воздействие электронов на твѐрдое тело
Ионно-лучевая обработка в технологии микро- и наноэлектроники
Ионное легирование полупроводников
Litres
გსურთ დაამატოთ წიგნის მაღაზია? დაგვიკავშირდით support@z-lib.do-ით
ფაილების კონვერტაცია
ძიების მეტი შედეგი
სხვა უპირატესობები 
![О.С. Моряков — Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники [Учеб. пособие для ПТУ, В 10 кн.] / Кн. 7 Элионная обработка](https://s3proxy.cdn-zlib.se/covers200/collections/genesis/0a9d8d6e12fc350f71d601048ad0ee0a3e063e1b46b5d8541986217e950150df.jpg)
